氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪系统的氦质谱检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦质谱检漏仪维修，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。
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氦质谱检漏仪
降低了对分析器制造精度的要求，低温罐体氦质谱检漏仪维修，易于加工。进口氦质谱检漏仪维修，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，正压氦质谱检漏仪维修，提高了仪器灵敏度。氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
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