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部分人将发明的桂冠加在冯·奥托·葛利克的头上，认为真空泵的发是他在1650年左右用管进行的真空实验引起的。另一些人却认为发明的交椅应由伽利略来坐，新能源电动空调压缩机供应，提出伽利略曾试图用柱罐、活塞和重力测量真空形成时的力，为真空泵奠定了基础。
一、历有确切记载的，新能源电动空调压缩机，可以认为真空技术的历史开始于1643年。当时，托里拆利(Torricelli)将一端密封的长管注满并倒置在盛有Hg()的槽里时，发现了密封的玻璃管中760mm柱顶端产生的真空。
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工艺要求达到的真空度
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。
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在排气口处新增密封结构的单向阀
膜片泵的排气口是与大气相通的，如果周围有雨水水滴或整体浸水则会直接通过排气口进入，终造成泵内进水。故将排气口做成单向阀结构，在膜片泵不工作时，单向阀始终处于关闭状态，密封性可以得到保障;在膜片泵工作时，泵腔内的压力达到一定值就会打开单向阀，排出气体;泵停止工作后也会立即关闭
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