系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 Pa。先进的泵可以取得10-9 Pa的极限压力，分子泵首要用作超高真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对大气排气，需要装备前级泵，而且其首要功能(极限压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，真空系统，体系中可充分利用空间的真空环境，镀膜机真空系统，省去分子泵的前级泵。
事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，真空系统设计，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，吸塑真空系统，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。
真空机组的构成与分类
真空机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。
按机组的工作压力分，有粗真空机组(>1330Pa)；低真空机组(1330~0.13Pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；极高真空机组(<1.2×10-11Pa)。
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