1真空度不高
（1）真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。
应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。
应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流不够。
应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。
应拆开检查并重新装配。
（2）真空泵油有问题，1.油位过低。
应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。
应更换新油。
3.油的牌号不符。
应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。
应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
（3）真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。
应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。
应更换垫圈并拧紧气镇阀；3.排气阀片损坏，密封不好。
应更换气阀片；4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。
应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。
应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
（4）转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。
应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好。
（5）进气口的过滤网被堵塞。
应取下过滤网清洗干净，再装上去。
（6）因加工不良或磨损造成配合间隙过大。
应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。
（7）真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。
应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
2电机、真空泵运异常电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象
（1）真空泵温太高，应让气体冷却后再进入真空泵内。
（2）弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声；应更换弹簧。
（3）装配不当，造成单面磨损，应重新装配。
（4）过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。
应拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网。
（5）真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。
应拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油。
（6）真空泵油变成乳浊状.粘度增大。
应更换新的真空泵油。
（7）真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。
应重新装配并疏通和调节油路，加强润滑。
（8）电机有故障而产生噪声。
应检修电机或给轴承加上润滑黄油。
3真空泵漏油、喷油
（1）转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。
应仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀。
（2）因前后端面不平整或端板未压紧，造成端面漏油。
应将端面修平并压紧前后端板。
（3）进气口压强过高。
应设法减少进气量。
（4）箱体有漏孔。
应检查谓孔部位并堵死。
（5）油量过多产生喷油，应放出多余的油。
（6）排气盖下面的挡油网装反引起喷油，应重新装挡油网。
（7）突然暴露大气引起喷油。
应立即关闭低真空阀。
4真空泵起动困难
（1）真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。
（2）由于长期不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充满真空泵油。
用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。
（3）油温太低，应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，即可正常工作。
（4）油已变质，应更换新的真空泵油。
（5）电源缺相，应检修电源。