氦质谱检漏仪的结构
质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。
为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。
质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。
氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。
氦质谱检漏仪应用行业
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检漏的重要性
氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。
泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。
如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，国产氦气质谱检漏仪价格，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。
另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。
如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
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