氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。
分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。
氦质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。
在离子收集极前面有三个栅极G1、G2、G3。
G1和G3接地，中间栅极G2与离化室相连。
G1栅的狭缝决定了氦离子的运动半径，而使除氦以外的其他离子打不到收集极上去。
中间栅极G2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场，只有具有一定能量的氦离子才能通过G2的狭缝，而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入G1狭缝，也不能通过G2狭缝到达收集极，使收集极的氦离子流不受这些杂散离子的干扰。
栅极G3是抑制离子在收集极上打出的二次电子不跑向G2，使它仍返回收集极，以防离子流的不稳定。
氦质谱检漏仪的构成
氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。
主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
在氦质谱仪检漏技术中，氦质谱检漏设备，根据被检件的结构，正压氦质谱检漏设备生产厂家，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，正压氦质谱检漏设备价格，在某些条件下是非常必要的。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。
然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，正压氦质谱检漏设备品牌，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。
检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
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