真空度低的原因：真空泵漏气是密封圈漏气，应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。比如在真空泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。
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真空泵使用时间过长，出现零部件老化现象就需要经常维修.真空泵维修要求：定期检查油的质量，若发现油品变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常;需经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。通常形成爱德华真空泵运行期间轴承过热有以下几点原因，遇到这种情况，必须停止运行。真空泵运转时，真空泵维修，油位到油标中心为准;真空泵中若是油使用时间超过一定期限以后，需换油;真空泵在寒冬季节使用时，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净，防止冻裂;开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
真空泵温度太高有哪些因素：被抽气体温度过高，应让气体冷却后再进入真空泵内吸入硬物使真空泵体磨损。由于真空泵在清洗过程中会留有一定量的挥发性物质，正常运行后应投入正常运行。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，真空泵冷却水流不够。真空泵运转中摩擦发热，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
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