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分子泵的转速可达到10000r/min~50000r/min,如果直接抽大气,气流会对分子泵造成不可逆的损伤甚至报废。 分子泵无法直接将气体压缩到常压,即无法直接对大气排气。基于分子泵的工作原理,在开启分子泵前必须配置一台辅助前级泵。
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水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等;根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量;叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量,有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。
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新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。
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电磁场屏蔽掉出現的难题
转动的电机转子在电磁场中造成涡电流,将使电机转子发烫,将造成以下难题:
①、电机转子与电机定子空隙愈来愈小,导致残片;
②、电机转子升温过大导致带磁转子去磁;
③、因为发烫会变弱铝原材料的抗压强度,导致碎泵;
④、电机转子发烫,更改电机转子和轴的相对位置,导致碎泵。
分子泵在电磁场中运行时,轴向和径向磁感应强度均不可超过30Gs。正常情况下,Agilent TV301分子泵销售公司,超过30Gs应应用吸磁原材料屏蔽掉。Agilent TV301分子泵销售公司
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分子泵起动的标准:
①、起动标准:联接准确无误、无漏、制冷、润化、真空值
②、开机时间:
另外起动——小系统软件,防前面油阀上返。
延迟时间起动——系统软件容量过大,先起动前面泵,至系统软件气体压强P=200Pa时,起动分子泵。Agilent TV301分子泵销售公司
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