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牵引分子泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进，出现了涡轮分子泵。
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当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；
当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；
当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
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检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。
检查叶轮上是否有裂痕或小孔，Agilent TV301销售中心，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。
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磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：
①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；
③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；
④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？
原因：附近有光照或其他热源
解决方法：避免光照或热源
2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？
原因：冷却不良，负载太大
解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
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振动频率为60%-工作转速，或者是密封间隙过大，护圈松动，密封磨损
处理方法：检查、调整或更换密封；
振动频率为2倍工作转速，不对中，联轴器松动，密封装置摩擦，壳体变形，轴承损坏，支承共振，推力轴承损坏，轴弯曲，不良的配合
处理方法：检查，采取相应措施，修理、调整或更换；
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