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材料表面改性方法包括化学的和物理的方法。通常化学方法比较繁琐，且大量应用有毒化学试剂，容易对环境造成污染，对人体也有极大危害。与其相比，低温等离子体表面处理技术具有工艺简单、操作简便、易于控制、对环境无污染等优点，日益受到人们的青睐。
低温等离子体中含有各种活性粒子:电子、粒子，各种激发态的原子、分子及自由基等。
在这些活性粒子的作用下，材料的表面性质将会发生改变。等离子体的特点是:(1)它对材料表面的作用深度仅数百埃，不会影响基体材料的性质;(2)能够处理各种形状的表面;(3)有较强的杀菌作用。正是由于低温等离子体的独特性，近几年在材料表面改性中已经引起人们越来越多的注意和兴趣。
近十几年来，低温等离子体广泛用于改变金属材料的表面力学性能，真空式等离子清洗机，即材料的磨损、硬度、摩擦、疲劳、耐腐蚀等性能。
等离子体以 两种 不同的方式发挥作用：
1.除去了有机层（含碳污染物）
材料会受到例如， 氧气 和空气的 化学 腐蚀，等离子达因值清洗机，通过超压吹扫，将其从表面去除。通过等离子体中的高能量粒子，脏污会转化为稳定的小型分子 ，并借此将其移除。脏污的厚度只允许达到 几百纳米 ，等离子玻璃清洗机设备，因为等离子的清除速度仅能够达到每次几 nm。脂肪含有诸如锂化合物之类的成分。仅能够除去其有机成分 。这一点同样适用于指纹。故此，建议戴手套。
2.还原氧化物
金属氧化物会和工艺气体发生化学反应。作为工艺气体，使用了氢气和气或氮气的混合物。等离子体射流的热效应可能会导致进一步的氧化。故此建议在惰性气体环境下进行处理。
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