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溶剂使用企业应说明溶剂的储存、使用等过程中VOCs的排放各环节的情况。说明企业生产线的管理水平，VOCs一企一方案办理机构，生产装置及生产车间的密闭状况，排出的废气收集情况，韶关市VOCs一企一方案办理，并附生产车间现场照片。VOCs控制的现状说明了企业各现场排出口的数量、高度、排出的主要污染物种类等，说明了企业各排出口的收集状况、废气来源各现场排出口的管理设施状况，说明了管理技术、设备型号、制造商、使用年限、管理的污染物种类、管理设施的维护状况。
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从检查的情况来看，VOCs一企一方案办理申请，企业存在的问题主要是不正常使用污染处理设施没有采取防止排放VOCs的措施违反排放口的设置规定，没有建设污染处理设施等。该负责人表示，企业应承担防污主体责任，VOCs一企一方案办理公司，落实建立环保制度，减少环境污染和危害，依法排放污染物等方面的责任。今年11月中旬至明年初，省环境保护厅派出10个巡视组开展大气污染防治监督，巡视组巡视广州、深圳、珠海、佛山、韶关、惠州、东莞、中山、江门、阳江、湛江、茂名、肇庆、清远、云浮等15个地级以上的发售。
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由于半导体技术对操作室的清洁度要求极高，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、CVD、CMP、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗溶剂是和硫酸混合剂。这些工序产生的废气包括硫酸、氢氟酸、盐酸、、磷酸等挥发气，碱性气体为氨。
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