净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
净化工程噪声控制
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。
因此衡量洁净室的噪声主要指标是：
1.烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，洁净室工程公司，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。
2.对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度;
3.对综合通讯的干扰这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，洁净室施工，不可能对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适，可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。
光学微电子净化工程解决方案:
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
B、室内空气参数要求 ：
(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。
(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，洁净室，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜
空气量≥40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，洁净室设计，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。
洁净室设计-清阳净化系统工程公司-洁净室由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司是江苏 苏州 ,其它的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在清阳净化系统工程领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创清阳净化系统工程更加美好的未来。