产品描述:
半导体行业专用,各种半导体设备的超纯气体压力测量
产品特征
· 产品体积小
· UC超洁净处理
· 精度高
· 带零调及满偏调节功能
· 产品可靠寿命长
规格参数
测量介质 | 各种工业气体、半导体气体 |
电气连接 | 插头式 |
连接口径 | 1/4VCR、1/4NPT 如需其他尺寸请联系我们。 |
接液部材质 | 接头: SUS316L |
压力范围 | 0~0.3→0~20MPa |
-0.1~0.3→-0.1~2MPa | |
精 度 | ± 1.0% |
电源 | 24VDC |
输出 | 4-20mA 1-5V DC |
响应速度 | 1ms以下 |
温度范围 | -20-70℃ |
防护等级 | 室内用 |