低温等离子工业废气处理技术：
主要采用脉冲高频高压等离子电源和双介质齿板放电装置，端子放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集材料，其高能电子可以在几毫秒内瞬间穿透空气和排气分子，发生一系列的分化和裂解反应，产生高浓度，高强度，高能量活动自由度。碱和各种电子，离子等，当与机器废气中的分子碰撞时发生一系列物理化学反应，并在反应过程中产生各种活性自由基和生态氧，电子元件废气治理，即由原子氧产生的臭氧分解。
废气处理设备的处理原理：曝气式脱臭法
原理：将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质 适用范围广。适用范围：截至2013年，日本已用于粪便处理场、污水处理厂的臭气处理。优点：活性污泥经过驯化后，对不超过极限负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。缺点：受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限。
工业生产过程中产生的大量有机废气，会对人体和环境产生很大影响。
人体健康损害：工业废气污染对人体健康的损害包含急性和缓慢两方面。急性损害 一般出现在工业区及其附近地区。缓慢损害是在大气污染物直接或直接的长时间效果下对人体健康机能构成的损害。这种损害短期体现不明显，不容易察觉。据我国10个城市计算，呼吸 道疾病的患病率和检出率在工业重污染区为30%～70%，而轻污染区只要它的一半。
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