冈本okamoto全自动研磨机GNX300B

okamoto冈本GNX300B全自动研磨机是向下进给式全自动硅片减薄设备，兼容8”和12“的机械搬送臂。

冈本okamoto全自动研磨机GNX300B特点：

·GNX300B拥有BG研磨专利技术。

·日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖

·主轴机械精度可调

·冈本自产铸金一体化结构，不易老化，精度持久

·润滑系统有完善防护，避免异物进入造成磨损

·适用晶圆尺寸：6”、8” 、12” MAX晶圆厚度： 1000μm。

·可切换全自动、半自动操作模式

·17寸触控操作与监控屏，监控气压、电流、水流、厚度等

·研磨耗材损耗小，加工成本低

·研磨硅屑细小，冲洗更干净

GNX300B全自动研磨机规格：

规格 GNX300B

MAX加工直径 Ф300mm

主轴转速范围 0~3000rpm

主轴驱动电机功率 5.5/4 Kw/P

主轴进给速度范围 1~999μm/min

主轴数 2

工作盘转速范围 1~300rpm

研磨轮尺寸 Ф300mm

设备整重 5700kg

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