管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家本条规定了生产区特种气体设备的布置原则与允许使用储存量，因为电子工业厂房的生产区要使用大量的特种气体，管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家这些特种气体多具有自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性的危险性质，为此，规定特种气体在设置气瓶柜、排风装置，生产区设置自动消防喷淋系统的情况下，应按照表3.1.4的数量布置特种气体，管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家这些数据是我国半导体行业多年来运行经验的总结，与电子工业发达国家的规定相近，惰性气体不在列表范围，不受上述文件限制。虽然本条规定了特种气体在生产区的布置要求，但是一般情况下，管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家除非特种气体因为性质原因(如低蒸汽压力气体)或工艺有特殊要求，标准仍然建议将生产区的特种气体数量(包括惰性气体)降至值，尽可能将特种气体放置在特种气体间内，便于集中管理控制，这符合行业惯例与安全要求。
管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家标准《压缩气体及低温流体 规 范 》 NFPA5-2016第3.3条(一般定义)，第6.2条(控制区)，第6.3条(用房保护级别)和《防火规范》IFC-2018表2704.2.2.l(每个半导体生产区危险材料的数量限制)也做了相关的规定，管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家上述NFPA 55-2016和IFC-2008的相关内容摘录如下：《压缩气体及低温流体规范》NFPA 55-20 16 ：一般定义制 区 ：建 筑 或建筑的一部分，该区域内允许危险性材料的储存、输送、使用、或操作，管壳式换热器厂家，U型管式换热器厂家，板式换热器厂家，浮头式换热器厂家危险性材料(HPM)的数量不应该超过量。