菏泽30立方液氮储罐，8公斤规格液氧储槽，16公斤规格液氩贮罐根据工艺流程和冷箱出口氧、氮产品的压力要求，全低压空气分离设备的原料空气压力不宜大于1.0MPa。
除空气压缩机设有后冷却器或纯化器采用变压吸附工艺可不设空气预冷装置外，宜设置空气预冷装置。
空气纯化装置应采用分子筛吸附器，其纯化后的原料空气中的二氧化碳含量宜小于1.0×10-6，水分含量宜小于2.6×10-6，氧化亚氮脱除率宜大于80％。菏泽30立方液氮储罐，8公斤规格液氧储槽，16公斤规格液氩贮罐空气分离装置内采用膜式主冷凝蒸发器时，宜设置液空或液氧吸附器 低温法空气分离系统采用内压缩流程时，宜设置空气增压机或循环氮气压缩机。利用大、中型低温法空气分离设备制取氩气宜采用全精馏制氩方法。
大型低温法空气分离设备氖、氦、氪、氠等稀有气体提取装置的设置应符合下列规定：应根据用户需求；稀有气体提取及其提纯宜集中进行；提取的品种、纯度应依据技术经济比较确定。菏泽30立方液氮储罐，8公斤规格液氧储槽，16公斤规格液氩贮罐离心式空气压缩机应设下列保护系统：防喘振保护系统；安全放散系统；轴承温度、轴振动和轴位移测量、报警与停车系统；入口导叶可调系统。单一氧或氮气的制取，其氧气纯度低于95％或氮气纯度低于99.99％时，宜采用常温变压吸附空气分离系统；菏泽30立方液氮储罐，8公斤规格液氧储槽，16公斤规格液氩贮罐吸附剂的再生解吸宜采用常压解吸或真空解吸。