5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂

5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂

5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂特点： 

可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列

单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能

适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运

机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm

机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）

或者3个FOUP（280mm臂长）

双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指

5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂基本参数：

使用环境                          洁净间内的大气环境

手臂                                 单臂

到达距离                           553mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴MAX行程                 300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量                       4kg (手臂第3关节处基准)

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