ADT全自动晶圆切割机8230（双轴）
ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。大切割工件尺寸可达12英寸。
ADT全自动晶圆切割机8230（双轴）特点：
· 灵活性-支持大3英寸刀片；
· 支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)；
· 使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观；
ADT 8230全自动双轴切割机其它重要特点
· 切割效率高-大幅降低使用成本；
· 空气主轴；
· 快速自动对齐及切割定位，提高切割效率；
· 高精度的自动刀痕检测及切割质量分析；
· 切割过程数据记录和统计分析；
· 更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便；
· SECS/GEM通信标准；
· 机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性；
ADT全自动双轴切割机8230规格：
MAX工作盘尺寸 φ300mm
X轴 切割范围 310mm
进刀速度输入范围 0.1-600mm/s
Y1&Y2轴 切割范围 310mm
单步步进量 0.0001mm
定位精度 Within 0.002/310 mm
（Single step accuracy）within 0.002/5
Z轴 大行程 30mm（对应2英寸刀片）
移动分辨率 0.0001mm
重复精度 0.001mm
θ轴 大旋转角度 380deg
主轴 主轴类型 对向式双主轴
额定扭矩 0.33（1.8kw）N.m
高回转速 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1
刀片尺寸 2"
视觉系统 1倍和8倍高清光学相机 相机光源：LED（直光 & 斜光）
尺寸（W×D×H） 1220 × 1550 × 1850 mm
重量 Approx 2000kg
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