O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器电子工厂设计中，当供应和储存特种气体量较少时，为减少气体管道长度、保证气体质量，特种气体站房一般布置在生产厂房内一层的特种气体间。O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器当供应和储存特种气体量较多时，为了安全需要，规定应将特种气体站房布置在单独的建(构)筑物内，利用室外管道输送特种气体至用气厂房。
3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，用量相对较小。O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器根据目前的特种气体供应情况，气体多采用气瓶柜供应，氧化性、惰性气体多采用气瓶架以及气体集装格等多种形式供应。
3.1.3 布置在单独建(构)筑物或区域内的特种气体站，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器根据目前我的特种气体实际供应情况，通常采用气体集装格、卧式气瓶150标准集装瓶组、长管拖车等供应方式。
3.1.4 本条规定了生产区特种气体设备的布置原则与允许使用储存量，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器因为电子工业厂房的生产区要使用大量的特种气体，这些特种气体多具有的危险性质，为此，规定特种气体在设置气瓶柜、排风装置，生产区设置自动消防喷淋系统的情况下，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器应按照表3.1.4的数量布置特种气体，这些数据是我国半导体行业多年来运行经验的总结，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器与电子工业发达国家的规定相近，惰性气体不在列表范围，不受上述文件限制。虽然本条规定了特种气体在生产区的布置要求，但是一般情况下，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器除非特种气体因为性质原因(如低蒸汽压力气体)或工艺有特殊要求，标准仍然建议将生产区的特种气体数量(包括惰性气体)降至值，尽可能将特种气体放置在特种气体间内，便于集中管理控制，O2流量计设备厂家，N2流量计设备厂家，Ar2流量计设备厂家，菏泽容器这符合行业惯例与安全要求。