国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司在电子工厂设计中，当供应和储存特种气体量较少时，为减少气体管道长度、保证气体质量，特种气体站房一般布置在生产厂房内一层的特种气体间。当供应和储存特种气体量较多时，为了安全需要，规定应将特种气体站房布置在单独的建(构)筑物内，国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司利用室外管道输送特种气体至用气厂房。布置在生产厂房内的特种气体间，用量相对较小。根据目前的特种气体供应情况性气体多采用气瓶柜供应氧化性惰性气体多采用气瓶架以及气体集装格等多种形式供应。布置在单独建(构)筑物或区域内的特种气体站，根据目的特种气体实际供应情况，通常采用气体集装格、卧式气瓶标准集装瓶组、长管拖车等供应方式。
国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司本条规定了生产区特种气体设备的布置原则与允许使用储存量，因为电子工业厂房的生产区要使用大量的特种气体，这些特种气体多具的危险性质，为此，规定特种气体在设置气瓶柜、排风装置，国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司生产区设置自动消防喷淋系统的情况下，应按照表3.1.4的数量布置特种气体，这些数据是我国半导体行业多年来运行经验的总结，与电子工业发达国家的规定相近，惰性气体不在列表范围，不受上述文件限制。国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司虽然本条规定了特种气体在生产区的布置要求，但是一般情况下，除非特种气体因为性质原因(如低蒸汽压力气体)或工艺有特殊要求，标准仍然建议将生产区的特种气体数量(包括惰性气体)降至值，尽可能将特种气体放置在特种气体间内，便于集中管理控制，国内做液氧储罐设备的厂家，国内做液氮储罐设备的企业，国内做液氩储罐设备的公司这符合行业惯例与安全要求。