循环泵浦运行电流正常时，循环泵的工作能力下降。
单（多）晶硅原材料电加热导热油炉故障分析：发热筒体堆积结垢炭化堵塞的影响
解决办法：清洗电加热器的发热管以及模温机内部管路。
循环泵电流值减小，出口泵压回零，说明泵空转不供油。
原因分析：可能是导热油汽化所致，查明汽化原因采取相应的措施。
单（多）晶硅原材料电加热导热油炉处理办法：若是因过滤器堵塞而使循环泵抽空，应立即开旁通清洗过滤器；若是因新增加的热传导液含水或水分解的气体在系统内未排除，则应立即打开放空阀排气。
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