低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由正离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。
工业废气中很多污染物的出现，主要原因就在于没有充分燃烧工业原料。
而催化燃烧法将特定的催化剂运用过来，可以更加充分的燃烧废气，vocs有机废气处理设备，消除掉有毒有害物质，避免污染到大气环境。
本种技术难以有效回收利用污染物，经济效益较差。
有毒气体的处理:(一)操作人员在处理有毒气体时，必须佩戴防毒面具、手套等与作业无关的劳动防护装备，禁止进入有毒气体处理区域。
(二)直接向大气排放少量有毒气体的，必须经有关部门同意尽量远距离排放，并将管制出口产品的浓度稀释到允许浓度以下。
(3)在处理有毒气体时，必须保证吸附剂和吸附剂的有效性。
燃烧气体:粘在容器或器具阀门上的粉末、石油、油脂和可燃物质必须从底部清洗，才能作为气体处理。
(2)严禁将助燃气体和可燃气体就近放置在同一场所，防止发生事故。
(3)燃烧气体处理周围应无火源、非可燃物质和性物质。
大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。
电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。
氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
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