气体分析质谱仪：主要有：呼气质谱仪、氦质谱检漏仪等。除以上分类外，还可以从质谱仪所用的质量分析器的不同，将质谱仪分为双聚焦质谱仪、四极杆质谱仪、飞行时间质谱仪、离子阱质谱仪、傅里叶变换质谱仪等。气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：在这类仪器中，由于质谱仪质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪、气相色谱-飞行时间质谱仪、气相色谱-离子阱质谱仪等。离子源是质谱仪的部件，其功能是提供合适的能量使样品离子化，并使离子具有一定的能量。常用的离子源有电子轰击源、化学电离源、快速原子轰击源、激光电离源、电喷雾离子源等。
质谱仪真空泵的保养方法，在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害。质谱仪的日常维护，色谱柱，在使用色谱柱尤其是使用极性色谱柱时要除去载气中的氧，要注意在更换气瓶时不要混入空气，也可以在气体流路中安装氦气净化器。质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。
质谱仪真空泵的保养方法，检查和清洁前置真空泵入口过滤器，旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。质谱仪具有很高的灵敏度和分辨率，质谱仪生产厂家，在定性和定量方面有很有优势，所以现在配置质谱仪的实验室越来越多。质谱分析仪是按照离子的质荷比(m/z)不同，分离不同分子量的分子，测定分子量并进行成分和结构分析的一种精密、的仪器。
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