薄玻璃广泛用于光子学、微电子学、显示和生物医学芯片中,因此这些领域的科研工作中需要可靠高产量高质量的玻璃加工工艺。
早先,由于长脉冲会引起热损伤,因此对玻璃进行激光加工的良率很低。如今,飞秒激光器提供超短脉冲,具有非常高的峰值功率,可以对薄透明材料进行高精度的切割打孔加工。
飞秒激光器的发展改变了微加工技术。它可以高速、高精度地加工薄、透明和半透明的材料。飞秒激光提供了一种在脆性材料上产生切口、孔和划痕的可靠方法。
薄玻璃广泛用于光子学、微电子学、显示和生物医学芯片中,因此这些领域的科研工作中需要可靠高产量高质量的玻璃加工工艺。
早先,由于长脉冲会引起热损伤,因此对玻璃进行激光加工的良率很低。如今,飞秒激光器提供超短脉冲,具有非常高的峰值功率,可以对薄透明材料进行高精度的切割打孔加工。
飞秒激光器的发展改变了微加工技术。它可以高速、高精度地加工薄、透明和半透明的材料。飞秒激光提供了一种在脆性材料上产生切口、孔和划痕的可靠方法。