在蒸馏过程中，油水分离器把植物和水一起熬煮，形成芳香水蒸气，冷凝之后获得精油和纯露。但是，这种蒸馏方式耗时长且缓慢，不适合萃取以酯类为主的植物，例如真实薰衣草、快乐鼠尾草等，防止酯类因为长时间加热而变成酸和醇。植物与水的比例为 1:5，蒸馏过程一般分为三个阶段，、二阶段长时间首先蒸馏出植物精油，然后在第三阶段的蒸馏中，加入前两个阶段所蒸馏出的纯露再继续蒸馏 2-3 小时，在此阶段纯露因为再循环而成为了蒸馏的水源。
在空化发生时液体中的微小气泡核在高强度超声波作用下发生振荡、生长、收缩及崩溃等一系列动力学过程，同时在崩溃的极短时间内，在空化泡周围产生高温、高压，强烈冲击波和时速400km?h以上的微射流，对固体表面的剥离、凹蚀和粉碎作用创造了新的活性表面，这种界面效应使传质表面积增大。空化时产生的湍动效应使固液界面中传质边界层变薄，导致界面层中溶质的浓度梯度减少速度大大高于其他方法。
如果是特别难萃取精油的植物，尤其是需要从根部、木质萃取精油的植物，通常会用渗透蒸馏法。通过改变蒸气的行进方向，迫使蒸气从上往下压，天津中药提纯设备，渗透植物体，通过蒸气压力，促使细胞壁劈裂并释放精油，蒸气带着精油分子往下冷凝聚集。由于使用的蒸气少，流动速度慢，能够完好地保留精油的成分，萃取出的精油质量高，但技术含量高。
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