半导电橡胶电阻测试仪
探针修正因子; 限定直径试样修正因子
光照高频需动强电磁场及温醒度等测试环境会影响测试结果
计算试样平均直径与平均操针间距之比由表中查出修正因子也可以见/中规定的几何修正因子 计算几何修正因子 见式
电流输出：直流电流～连续可调由交流电源供电
分类中四探针法涉及到半导体材料金属材料试验绝缘流体兽医学复合增强材料电工器件无损检测集成电路微电子学土质土壤学水质电子显示器件有色金属
将操针下降到试样表面测试使四探行针阵列的中心落在试样中心范围内
误差：±读数±字
本仪器采用吋大液晶屏幕显示同时显示电阻值电阻率方阻电导率值温度压强值单位自动换算配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求测试治具可以根据产品及测试项目要求选购
硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
计算每一测量位置在所测温度时的薄层电阻可根据薄层电阻计算出对应的电阻率并修正到 ℃具体见表 见式
电阻：×-～×Ω
下列文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款凡是注日期的引用文件其随后所有的修改单不包括勘误的内容或修订版均不适用于本标准然而鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的是不注日期的引用文件其于本标准 / 硅储单晶电阻率测定 直排四探针法
适用范围四端测试法是目前较先进之测试方法主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业高等院校科研部门是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具
提供中文或英文两种语言操作界面选择满足国内及国外客户需求
化学实验室器具如;塑料烧杯量杯和适用于酸和溶剂的涂塑慑子等试样制备如试样表面洁净符合测试条件可直接测试否则按下列步骤清洗试样后测试∶试样在甲醇中源洗如必要在甲醇中多次源洗直到被干燥的试样无污迹为止将试样干燥 放入氢氟酸中清洗 用纯水洗净 用甲醇源洗干净 用氮气吹干
对仲裁测量报告还应包括对探针状况电测装置的精度所测原始数据及处理结果
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当直接测量电流时采用式对于仲载测量与之差的必须小于较大值的
于电子测量装置适用性应符合/ 的规定 欧娇表能指示阻值高达 °日 的漏电阻 温度针℃～
探针与试样压力分为小于 及 两种
范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层扩散层和离子注入层薄层电阻的方法
试验报告应包括以下内容∶试样编号; 试样种类; 试样薄层厚度;测试电流; 测试温度;试样薄层电阻; 本标准编号; 测量测量者和测量日期
本标准适用于测量直径大于的由外延扩散离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻硅片基体导电类型与被测薄层相反适用于测量厚度不小于 μ的薄层方块电阻的测量范围为该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量但其测量度尚未评估
＋ 与;＋
测量误差±
在中国标准分类中四探针法涉及到半金属与半导体材料综合金属物理性能试验方法电工合金零件特种陶瓷质谱仪液谱仪能谱仪及其联用装置电阻器半导体集成电路工程地质水文地质勘察与岩土工程水环境有毒害物质分析方法电工材料和通用零件综合半金属元素半导体材料金属无损检验方法