随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。石英加速度计尺寸属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。石英加速度计尺寸的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，石英加速度计尺寸，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。
石英挠性加速度计工作原理 主要由上下力矩器、摆组件以及伺服回路组成。其中线圈通过胶粘方法与石英摆片固连，连同线圈骨架与摆片构成摆组件，实现检测质量的功能，用以敏感外界输入加速度。石英挠性加速度计具有精度高、长期稳定性好、体积小、结构简单等优点，在各种惯性导航、制导、测量和控制领域发挥着重要作用。石英加速度计尺寸是一种检测差动电容的用伺服电路，同石英电容传感器配接在一起，构成一个完整石英挠性加速度计。加速度计广泛用于惯导系统中，测量运动载体的加速度、速度、位置倾角等。
石英加速度计尺寸是根据惯性原理设计而成的精密型石英加速度传感器。它将输入加速度转换成其挠性摆片的微小位移，并用反馈力加以平衡。由于采用了力反馈回路，使这种加速度计具有精度高、抗干扰能力强、测量范围宽、过载能力强的特点，石英加速度计尺寸精度高、稳定性好、分辨率高、重复性好、携带方便，被广泛用于：隧道开凿、深井测量、地质钻探、港务测量、高层建筑基坑、大坝、堤防、岩土边坡等的倾斜测量，公路、铁路、堤坝等的剖面沉降。
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