大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。
电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。
氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
而且在不同的工作环境下，其除污效率远比这个理论数值低。
主要原因包括温度、工作环境湿度、水雾、酸度、灰尘及被吸附气体之间的相互作用等。
例如我国南方全年湿度较大，气温较高，其活性炭实际吸附量不足实验室的50%。
使用活性炭吸附法处理VOCs达标排放实际运维费用是十分高昂的，同时自然吸、脱附管理难、适用性受多种因素影响，不适合含粉尘、水汽、乳状物等废气处理，难稳定环保达标。
一般工业的除尘器在我们的生活中主要就是应用在工业的领域，一般就是选择容量比较大的垃圾箱，其次就是一般工业除尘器都是金属外壳进行制作而成。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，vocs有机废气处理设备，由正离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。
工业废气中很多污染物的出现，主要原因就在于没有充分燃烧工业原料。
而催化燃烧法将特定的催化剂运用过来，可以更加充分的燃烧废气，消除掉有毒有害物质，避免污染到大气环境。
本种技术难以有效回收利用污染物，经济效益较差。
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