化学气相沉积加工生产故障是每个化学气相沉积企业都会遇到的问题，排除故障是化学气相沉积技术人员的重要职责。化学气相沉积实践出真知，PVD镀膜生产的实践性很强。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜的途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干善于思考，不断探索和积累等。
真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，化学气相沉积加工，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，超声波化学气相沉积，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
针对印刷线路板、混合电路的涂层防护是Parylene普及的应用之一，它符合美国军标Mil-I-46058C中的XY型各项指标，满足IPC-CC-830B防护标准。在盐雾试验及其它恶劣环境下仍能保持电路板的高可靠性，金属化学气相沉积，并且不会影响电路板上电阻、热电偶和其它元器件的功能。
电子元件和电路组件的共形涂层必须满足电绝缘和环境防护要求。不断小型化的电子产品对绝缘涂层的性能提出了更高的要求，部分原因是涂层机械体积与电路功能之间的关系，绝缘性涂层更重要的特点是涂敷的完整性和均匀性，以及它在物理、电气、机械、屏蔽方面的性能。
Parylene是这些组装方式的防护材料，5微米厚就能耐1000V以上直流击穿电压，石龙化学气相沉积，因此在微机电系统中，Parylene是一的电介质材料。同时，对传感器的防酸、碱和及对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力。
Parylene活性分子的良好穿透能力在元件内部，底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防化学品和耐溶剂性能优良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。
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