1、电子工业超纯水工艺流程：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点;2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水工艺流程：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点;3、采用反渗透设备与电去离子设备进行搭配制备电子工业超纯水工艺流程：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
超纯水设备制备工艺及优势
超纯水设备制备工艺1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(传统工艺)2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(工艺)3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(传统工艺)以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，半导体纯水设备，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，反渗透法制取高纯水已经普及，也是现今的工艺。
水软化设备:一般用再生钠环氧树脂代替水中的钙、铝离子，不能净化去除水中的各种有害物质，只是因为它具有软化和降低水强度的作用。
、桶状纯水设备:安装在饮用水机上的桶状纯水机，纯水设备，一般选择活性炭、瓷器、酸化球等过滤材料，过滤精度不高，是完全切断的过滤方法，电子纯水设备，产生比较严重的二次污染，只能正确定位饮用水的问题，但实际上过滤技术
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