洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。
实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。
加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。
利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。
结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。
一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。
玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。
所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。
斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。
容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。
斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，高频电刀，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。
压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。
以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。
常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，高频电刀报告，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
洁净室照度检测
应该在洁净室每个工作地点（例如书桌、工作台）测量照度，然后加以平均。
对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间，如果单用一般照明，通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。
将测量区域划分成大小相等的方格（或接近方形），高频电刀报价，测量每格中心的照度 Ei ，则平均照度等于各点照度的算术平均值。
照度的不均匀度计算，照度是指洁净室内照明全开时，高频电刀哪家好，室内小照度与平均照度的比值，它是评价照度均匀性的一个重要指标。
洁净室检测送风的过滤
洁净室空调送风系统的末端装置—―过滤器(HEPA)或超空气过滤器(ULPA)，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理后的新风和回风中的颗粒污染物。
经、超空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。
但末级过滤器如有破损和过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么末级过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。
因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。
运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。
过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。
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