爱发科分子泵维修改造升级 增城爱发科分子泵维修 潽拓光电

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咱们平时总是说这对情侣很般配,经常用郎才女貌,天作之合来形容他们。其实世界万物也总是相伴而生,在真空的世界里,也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空,并且可以持续的无故障长时间运行,高真空泵极限真空极高,只有分子泵才能有此能力。



低温泵的结构通过2段式实现高真空。冷头有2段、1段冷头有较大的冷冻能力,可冷却至80K(卡尔文)以下。至此,主要是水分的排出,接下来2段冷头进一步冷却,排出N2,O2,Ar,H2等分子,以获得更高的真空。低温泵的冷冻机为2段式,1段具有较大的制冷能力,可以冷却至80K或更低,2段的制冷能力较小,可以冷却至10至12K。15K挡板(1)(冷凝板)和15K挡板(2)(吸附板)安装在冷冻机的2段上80K挡板和80K屏蔽桶安装在制冷能力较大的1段上,防止受到室温的热(辐射)。另外,为了防止吸附剂表面被覆盖,增城爱发科分子泵维修,吸附剂被安装在浓缩性气体不能进入的挡板的内侧。




选择爱发科低温泵的理由

爱发科低温泵在LCD产业市占率****、OLED产业市占率95%、在光学薄膜制造方面市占率85%。

爱发科低温泵根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

爱发科设立了低温泵开发&制造基地,形成了完善的销售和售后体系。



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半导体产业链IC制造行业属于典型的技术密集型行业,产品技术含量非常高,同时对配套产业要求较高,其中就包括真空设备配套产业。真空设备(真空阀、真空泵、真空腔体及管道等)是半导体各工艺制程环节必备的通用设备,广泛应用于芯片生产制造过程。  半导体制造设备及工艺流程半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。



这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵在半导体设备中的应用.在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。光刻机光刻机是生产大规模集成电路的设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握,因此光刻机价格昂贵。



光刻机光刻过程必须在高真空环境中实现,原因是极紫外光很娇贵,在空气中容易损耗。同时,在光刻过程中,设备的动作时间误差以皮秒计,这对磁悬浮分子泵的振动值要求极高。(注:皮秒=兆分之一秒)薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜,这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成,是使用多种工艺生长或沉积的。


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近日,真空推出了一款新型涡轮分子泵,便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长,爱发科分子泵维修改造升级,而且采用了该公司开发的一项技术,使得真空设备更加耐用,振动水平更低,噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲,通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法,利用激光烧蚀把多余的材料去除,如此一来,转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理,来达到很佳的动平衡性。



与传统动平衡相比,用激光去除材料要准确得多,剩余不平衡会更低。而且在这个过程中,二手爱发科分子泵维修,材料特性并不会受到影响。可以说,改变了传统的动平衡过程,将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡(左)和采用激光烧蚀段的激光动平衡(右)动平衡等级对比.据了解,通过现代化的自动平衡系统,涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%,从而大幅提高转子寿命,并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。



值得一提的是,激光烧蚀产生的颗粒,在加工过程中即可抽出和过滤掉,随后对激光平衡后的转子进行清洁,爱发科分子泵维修养护,由于无需手动拧紧螺丝,所以确保了表面的很高清洁度,并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此,用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。


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发布时间
2022-10-09 19:17
所属行业
真空泵
编号
30518962
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