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硅片是什么材料做的
硅是一种化学元素,它的化学符号是Si,旧称矽。
原子序数14,相对原子质量28.09,有无定形和晶体两种同素异形体,同素异形体有无定形硅和结晶硅。
属于元素周期表上IVA族的类金属元素。
高纯度硅在石英中提取,以单晶硅为例,提炼要经过以下过程:石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。
冶金级硅的提炼并不难。
它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。
这样被还原出来的硅的纯度约98-99%,但半导体工业用硅还必须进行高度提纯。
电子级硅的杂质含量约10^(-10)%以下。
而在提纯过程中,有一项“三氯氢硅还原法(西门子法)”的关键技术我国还没有掌握,由于没有这项技术,我国在提炼过程中70%以上的多晶硅都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。
芯片的背部减薄制程
磊晶之后的蓝宝石基板就成为了外延片,外延片在经过蚀刻、蒸镀、电极制作、保护层制作等一系列复杂的半导体制程之后,还需要切割成一粒粒的芯片,根据芯片的大小,一片2英寸的外延片可以切割成为数千至上万个CHIP。
前文讲到此时外延片的厚度在430um附近,由于蓝宝石的硬度以及脆性,普通切割工艺难以对其进行加工。
目前普遍的工艺是将外延片从430um减薄至100um附近,然后再使用镭射进行切割。
4.数控设备自动制板
采用小型数控设备进行自动制作电路板,具有精度高、质量好、适合批量生产的特点。
(1)快速腐蚀机。
通过耐腐蚀水泵使腐蚀液以漫流方式不停地流过敷铜板,提高了制板速度和质量。
(2)数控自动制板机。
输入设计好的电路板图,约20分钟即可制作出精美的电路板。
(3)数控精密钻铣机。
标准指令接口,可兼容各种流行的雕刻软件,采用雕刻的方法完成电路板的制作。
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