阿尔卡特真空泵
1、高清洁度的真空环境
2、整机高可靠性
3、稳定的运转性能
4、自适应智能控制
5、工艺安全性
(真空泵维修阿尔卡特A1503H真空泵维修)多级干式真空泵采用了罗茨转子与爪型转子组合的结构,充分利用了罗茨转子在低压区抽气,爪型转子在高压区抽气的特点,爱德华EH500真空泵维修报价,同时融合了爪型转子抽气通道短,压缩气体产生热量更高的特点,其性能相对于传统单纯爪型或单纯罗茨真空泵更具优势。
爱德华EH500真空泵维修报价泵浦卡解决方案:
真空泵膜片老化损坏,需要更换,联轴器断裂磨损需要更换无油隔膜泵产品特点:隔膜型真空泵无需泵油;工作、噪音低;
爱德华IXL系列干泵适用于半导体和太阳能应用;
iXL120:紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 抽空负载锁定舱室,能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 . 低能耗;仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本 . 环保模式可以在空闲 期间可减少 92% 的功耗
COBRA是一种单级双螺杆真空泵。泵缸内有两个螺杆转子旋转,密封并压缩泵介质,将其输送到出气口。在压缩过程中,螺杆转子之间不会互相接触或触碰泵缸,因此,压缩室内无需润滑剂和工作液。螺杆设计的开发功能是悬臂式转子排列,这种设计能够大幅降低能量消耗,防止压缩过程中气体温度过高。。集成的风冷系统作为标准配置。
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