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EDS及XRD的性能区别
1、EDS是针对一些元素的含量进行测试，XRD是测试晶体结构的。
2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer）能谱分析，半导体XRD检测分析，能谱仪是与扫描电子显微镜或透射电镜相连的设备。在微米或纳米尺度上对扫描电镜或透射电镜内通过电子碰撞所产生的X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。分析范围：4-100号元素定性定量分析。
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怎么分析XRD图谱
1、XRD图中有很多信息，如组成（物相）和结构、粒度、应力、结晶度等，半导体XRD检测哪家好，其分析方法各不相同。
2、比如，若是做物相分析，样品是已知物质的，你只要将XRD图谱与标准图进行比对就可以大致判断，一般设备中都会提供已知物数据库，供调用比对。
3、当然杂相分析就需要一定的经验了，不是一两句话就能说清楚的。
4、若是做的未知物（新物相），则必须做纯，再用相应软件如PowderX等来处理，也有一定的技巧。
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精密测阵参数 常用于相图的固态溶解度曲线的绘制。溶解度的变化往往引起点阵常数的变化；当达到溶解限后，溶质的继续增加引起新相的析出，不再引起点阵常数的变化。这个转折点即为溶解限。另外点阵常数的精密测定可获得单位晶胞原子数，从而可确定固溶体类型；还可以计算出密度、膨胀系数等有用的物理常数。
宏观应力的测定 宏观残留应力的方向和大小，直接影响机器零件的使用寿命。利用测阵平面在不同方向上的间距的改变，香港特别行政半导体XRD检测，可计算出残留应力的大小和方向。
对晶体结构不完整性的研究 包括对层错、位错、原子静态或动态地偏离平衡位置，短程有序，原子偏聚等方面的研究（见晶体缺陷）。
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