XRD倒易空间（RSM）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD倒易空间（RSM）检测报告，以及行业应用技术开发。
物相定性分析中追求数据吻合程度时，
（1）d值比I/I1值更重要，更优先。因为d测试精度高，重现性好；而强度受纯度（影响分辨率）、结晶度（影响峰形）样品细微度（同Q值时吸收不同），辐射源波长（同d值，角因子不同）、样品制备方法（有无择优取向等）、测试方法（照相法或衍射仪法）等因素影响，不易固定。
（2）低角度衍射线比高角度线重要。对不同晶体而言低角度线不易重迭，而高角度线易重迭或被干扰。
（3）强线比弱线重要。尤其要重视强度较大的大d值线。
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小角衍射的特点：
（1）小角X射线衍射具有和常规XRD的功能，可以确定物质的晶相，结晶度，晶畴尺寸，取向度等
（2）通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线，从而用来消除或减少衬底的影响
（3）可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等
（4）小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。
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基于Omega扫描全自动晶体定向仪应用
如果只测量一个或几个主要方向的材料，西藏自治XRD倒易空间（RSM）检测，则可以使用所描述的简单类型的排列方式，对于每个不同类型的反射都有对应的合适的面罩。有时，为了扩大接收角范围，XRD倒易空间（RSM）检测分析，可以使用两个探测器。
为了更广泛的应用，该装置配备有X射线管和探测器系统的设置能力。
图3是用于研究放置在测量台上的表面均匀的晶体的桌面衍射仪。它的射线和检测装置安装在设备下方，可以应用于大量的晶体种类和取向。
可调止动器允许测量方位角，例如晶片的平面或凹口。
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