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对准曝光阶段是光刻工艺的重要阶段,使用的掩膜曝光机,即光刻机,集中了光刻工艺中重要的工艺技术。对准曝光过程通常在黄光实验室中进行。
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一般使用热板或烘箱来控制温度变化。光刻工艺中的坚膜工序。坚膜是在显影后以适当的温度烘干玻璃以除去水分并增强其聚合,提高强度的工艺,它增强了胶膜与玻璃的粘附性。在显影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工艺的质检。适当地来说应叫显影检验(develop inspect)或DI。在显影检验工艺,工程师有个判断工艺的性能机会。显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。
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