XRD残余应力检测分析 半导体单晶XRD靠谱

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XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

完全未知的多相混合物,应设法从复相数据中先查核确定一相,再对余下的数据进行查对。每查出一相就减少一定难度,直至全部解决。当然对于完全未知多相样品可以了解其来源、用途、物性等推测其组分;通过测试其原子吸收光谱、原子发射光谱,IR、化学分析、X射线荧光分析等测定其物相的化学成分,推测可能存在的物相。查索到时,知道组分名称的用字顺索引查,XRD残余应力检测价格,使用d值索引前,要先将全部衍射强度化,然后分别用一强线、二强线各种组合、三强线各种组合…联合查找直至查出主相。标记其d值,I/I1值。把多余的d值,I/I1值再重新化,包括与主相d值相同的多余强度值。继续查找确定第二主相,直至全部物相逐一被查找出来并核对正确无误。遇到没被PDF卡收录的物相时,河北XRD残余应力检测,需按未知物相程序解析指认。

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1923年,XRD残余应力检测测试,康普顿报道了当X射线用几乎与样品表面平行的小角度入射到理想光滑平整的样品表面上时,能够出现镜面反射的特征。入射X射线在样品表面发生全反射的前提是入射角小于或等于临界角αi(入射角)≤αc(αc临界角)。当发生全反射时,由于X射线被全反射,因此探测到的信息几乎全部是样品表面薄层的信息。在对衬底上的薄膜进行分析时,全反射法可以避免来自衬底的干扰信息。

掠入射X射线衍射(GIXRD)是一种让X射线略过样品表面的技术,这种技术能够更真实地表征出薄膜(特别是共辄聚合物薄膜)的微结构。测试光是平行光,相对于常规的衍射光来说能量较小,因此掠入射测试XRD的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息,也不容易测到基底,因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求,但是需要测试面平整光洁,不要有遮挡物,这样测试结果才真实可信。




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为了能够测量不同的材料和取向,X射线管和检测器可以使用相应的圆圈来移动,这也允许常规衍射测量。

因此,Omega扫描测量可以与摇摆曲线扫描相结合,用于评估晶体质量。而且初级光束准直器配备有Ge切割晶体准直器,这两种模式都可以快速便捷地交换使用。  

这种类型的衍射仪还可以配备一个X-Y平台,用于在转台上进行3Dmapping绘图。它可以应用于整体晶体取向确定以及摇摆曲线mapping测量。

另外,XRD残余应力检测分析,针对碳化硅SiC、镓GaAs等晶圆生产线,可搭配堆叠装置,一次性同时定位12块铸锭,大幅度提高晶圆生产效率和减小晶圆生产批次误差。




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发布时间
2022-10-25 12:07
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