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洁净室压差日常监测如何控制
一.关于压差报警,洁净工作台检测,允许对压差报警设定,以满足日常操作需要(如进出开门),但需要合理确定该项活动所需要的时间,并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报,洁净工作台检测报价,以允许洁净室的正常活动,如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。
二.有关缓冲间门的要求,除非安装充气密封(equipped with inflatable seals),否则开门后压差存在泄漏(客观事实)。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时,气闸(缓冲间)的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而,洁净工作台检测设备,除非这些门装有充气密封,否则当其中一扇门打开时,通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大(客观事实)。
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洁净室检测点的布置
根据中华人民共和标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。
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洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
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