XRD残余应力检测平台 半导体XRD测试机构

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XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


1.为什么要求XRD测试粉末样品要稍微多一些?

因为粉末样品要铺满整个样品台,福建XRD残余应力检测,不然X射线可能会打在样品台上,颗粒数目太少会减少衍射强度,导致峰强降低,影响数据质量,量很少的话尽量把样品放在中心位置。

粉末样品制备的大概有三点注意点。就是粒度均匀,原因是不均匀的颗粒可能会遮挡住衍射信号。第二就是粒度保持在45μm左右。基本做法就是将样品干燥后用研钵研细再测就好。如果是假如颗粒太粗,XRD残余应力检测平台,晶粒数目不够会导致得到的衍射信号是一个个晶胞共同叠加产生的,衍射强度降低。假如自己的样品不好研磨,或者担心研磨不够细,也可以用个200目或者其他大小的筛子筛一下。第三就是样品量不能太少。




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X射线衍射原理及应用介绍:

特征X射线及其衍射 X射线是一种波长很短(约为20~0.06 nm)的电磁波,能穿透一定厚度的物质,并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、i气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中,包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线,称为特征(或标识)X射线。考虑到X射线的波长和晶体内部原子间的距离(10^(-8)cm)相近,1912年德国物理学家劳厄(M.von Laue)提出一个重要的科学预见:晶体可以作为X射线的空间衍射光栅,即当一束X射线通过晶体时将会发生衍射;衍射波叠加的结果使射线的强度在某些方向上增强、而在其它方向上减弱;分析在照相底片上获得的衍射花样,便可确定晶体结构。这一预见随后为实验所验证。




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EDS,XRD和XPS进行成分分析的相同点和不同点是什么


能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS的分析结果里面会有原子比(atomic%)和元素比(也就是质量比,weight%)的数据,这里要提醒大家注意一点,因为EDS分析并没有那么,所以尽管分析报告的结果会有两位小数,但只取一位小数就够了。

  X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。原则上可以测定元素周期表上除氢、氦以外的所有元素。




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2022-10-27 11:18
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