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特点：
（1）能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。
（2）对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
（3）能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
（4）检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。
3、XRD，X射线衍射是测定晶体结构的。X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，分析材料的成分等。
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小角衍射的特点：
（1）小角X射线衍射具有和常规XRD的功能，可以确定物质的晶相，XRD残余应力检测实验室，结晶度，晶畴尺寸，取向度等
（2）通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线，从而用来消除或减少衬底的影响
（3）可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等
（4）小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。
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X射线分析的新发展
金属X射线分析由于设备和技术的普及已逐步变成金属研究和材料测试的常规方法。早期多用照相法，这种方法费时较长，强度测量的度低。50年代初问世的计数器衍射仪法具有快速、强度测量准确，并可配备计算机控制等优点，已经得到广泛的应用。但使用单色器的照相法在微量样品和探索未知新相的分析中仍有自己的特色。从70年代以来，随着高强度X射线源（包括超高强度的旋转阳极X射线发生器、电子同步加速辐射，高压脉冲X射线源）和高灵敏度探测器的出现以及电子计算机分析的应用，使金属 X射线学获得新的推动力。这些新技术的结合，XRD残余应力检测测试，不仅大大加快分析速度，提高精度，而且可以进行瞬时的动态观察以及对更为微弱或精细效应的研究。
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