勘察现场还需要通过卷尺、测距仪等工具测出举架高度，主梁下高度、副梁高度、梁窝深度、立柱尺寸，车间净化工程报价，立柱间距、窗高度、窗腰高度、当然如厂房内消防排烟系统、消防喷淋管、消火栓管道已经完成或已有，需要量出距地面高度，这些都是设计阶段的手数据资料，方便设计绘图时管道综合排布。
根据业主意向，以及满足工艺设备的放置，需要对车间吊顶高度进行设定，吊顶高度太矮会使车间内人员感觉上太压抑，而过高又会使业主初投资增加，日后运行成本也会增加，这样前提下就要根据工艺设备高度，制定相应吊顶高度，如果工艺设备较高，可以采取车间局部方法，当然需要咨询业主建设方意见，设身处地的站在投资者的角度考虑。
螺杆式冷水机组
螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。
离心式冷水机组
离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。离心式冷水机组的制冷量较大，常用的水冷式离心式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，单机容量通常在1163kW以上，所以，离心式冷水机组一般用于大型中央空调系统。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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