近年来，随着我国集成电路、液晶显示器、太阳能电池、半导体、光纤光缆等行业的高速发展，特种气体作为这些产业重要的原材料之一，我国滞后的国产高纯氙气、高纯气（纯度在99.999%以上）六氟化硫等成为外资挟制中国制造业发展的软肋。
国产高纯氙气广泛用于电子、电光源工业、焊接切割行业、深度剂，X光摄影的造影剂等。用氙气充填的灯泡与相同功率的充灯泡相比，具有发光率高、体积小、寿命长、省电等优点。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，广泛用于机场、车站、码头。氙气灯凹面聚光后可生成2500℃高温可用于焊接或切割难熔金属如钛、钼等。在医学方面，氙气是一种没有副作用的深度剂X光摄影的造影剂。
空气分离是工业上常见的气体制备方法，氩气瓶，通过空分设备把空气中的各组份气体分离，生产氧气、氮气和气，武汉氩气，还有稀有气体气、气、气、氙气等。
稀有气体的生产涉及到空气、、合成氨尾气及核反应堆裂变气等多种气源。虽然涉及面较广，制取的工艺流程又多种多样，但就其制取的基本原理来说，都是利用各种稀有气体及其伴随杂质的物理、化学特性的差别。
目前在工业上具体应用的物理方法，氩气批发，例如分凝、、精馏、洗涤(物理吸收）、吸附、薄膜渗透和扩散单元操作
稀有气体提取设备的调平、配管和试压等应按本章相应各节的有关规定执行。
氦气在半导体、液晶面板和光纤线制造中起着重要作用，可实现零部件的快速冷却，从而提高生产率，还能控制热传递速率，以改善生产效率并减少缺陷；此外，氦气还可在生产过程中充当载运气体。
作为磁共振和超导磁体的理想冷冻气体，高纯氩气，氦气可实现-451华氏度的深冷温度，有效获取内脏和组织的高分辨率图像。
氦气在电弧温度条件下的惰性使其成为铝、不锈钢、铜和镁合金等高导热性材料焊接的理想气体，还可用作热处理过程中的淬火气体以及熔炉气体，提升零件耐性和质量
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