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随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。三轴石英扰性加速度传感器属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。三轴石英扰性加速度传感器的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。
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