准分子激光首先被应用在工业上:美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术，主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻准的图形。准分子激光气分类及用途：含氟准分子激光气体。准分子激光气是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过含氟准分子激光气体能产生四种波长的光波（或谱线）。准分子激光在医学上主要用于屈光不正的治，如用PRK、LASIK、LASEK等方法进行屈光不正的治，是目前临床上应用比较普遍、安全、快捷、有效、稳定的屈光不正治方法。
准分子激光气分类及用途：气。有两种同位素：-20和-22，它们是氦-激光应用中主要的同位素气体，其中关键的应用是将环形激光器用于商业、空间和制导、导航和控制系统。准分激光是一种气体脉冲激光，所产生的是波长为193nm的准分子激光，它是一种超紫外线光 波，此波长的激光吸收范围窄，激光的能量几乎完全被上皮细胞和基质吸收，超过这个范围的组织不会吸收到激光，所以周围的组织不会损伤。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了工业激光解决方案的前沿。
作为当今有效、可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光有效推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、中的技术革新。气体通常都是装在钢瓶容器之中但是均为高压充装气体，所以仍然要给予良好的保存条件，正常情况下，除了不能有其他物品对其进行撞击之外，应该将气体放在不会被阳光直接照射的地方。目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，准分子激光气体供应商，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面，微机电系统相关的微制造技术．
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