EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，爱发科真空泵维修公司，既可集成到制程工具，爱发科真空泵维修加工，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态，维修一定要及时、迅速，这样真空泵的正常运行才能得到保证。
进口真空泵系列产品，在泵行业的维修项目中对于厂家在日常检查中需要进行针对性的维修类的检查和维护，主要的日常检查项目有检查运行的正常情况以及、真空泵背压值、报警信息察看、手阀状态、机械结构的正常与否、特气管路、管路联接以及有无漏水，这都是需要我们在日常维护检查的时候进行检查，这也是针对这款维修泵维修前的准备事项。
实践证明，Edwards 半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
iH1800HTX
以爱德华真空泵维修来养活自己的企业，所以对于真空泵的了解毫不夸张的说真的是了如指掌，但是除了要给大家介绍些关于真空泵维修的方法之外，我们还应该多向大家普及关于真空泵的相关知识，爱发科真空泵维修，所以我们这就来跟大家说说“真空泵使用前须符合哪些要求”。
Edwards GXS 干式螺旋真空泵
我们的新型 GXS 干泵将真空性能提高到了一个新水平。
采用的螺旋技术和的驱动，可实现先进的温度控制功能和长的维修间隔，确保未来多年具有佳抽取速度和低运行成本。
敬请放心，Edwards 紧凑并且高度智能的 GXS 系列泵和组合是我们针对工业应用而提供的可靠、经济的真空泵。
爱发科真空泵维修-东欧真空设备公司-爱发科真空泵维修加工由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是广东 东莞 ,真空泵的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在东欧真空领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创东欧真空更加美好的未来。
