电火花线切割按切割速度可分为快走丝切割和慢走丝切割，由于快走丝加工的工件表面粗糙度一般在Ra=1.25~2.5微米之间，而慢走丝加工可以达到Ra=0。对于十六微米，且慢走丝切割机由于其固定误差、直线误差和尺寸误差都比快走丝好，因此慢走丝切割机在高精度零件加工中得到广泛应用。
慢走丝加工由于采用线电极连续供丝的方式，即在运动过程中完成了线电极的加工，所以即使线电极出现损耗，也可以连续补充，所以可以提高零件的加工精度，但断丝成了这些优点的障碍，解决这个问题很有必要。
慢走丝加工机床代表了目前的高水平，主要由瑞士、日本制造。这类机床的加工精度能保证在±0.002 ㎜以内，加工效率可达400～500㎜2/min，表面粗糙度可达Ra0.05μm，具有的加工表面质量，表面几乎无变质层，能使用Φ0.02 ㎜的电极丝进行微精加工，主机大都具有热平衡系统，一些机床采用在油中进行切割加工。
慢走丝加工时在线电极与工件之间存在的疏松接触式轻压放电现象。当柔性电极丝与工件接近到通常认为的放电间隙(例如8～10μm)时，并不发生火花放电，甚至当电极丝已接触到工件，从显微镜中已看不到间隙时，也常常看不到火花，只有当工件将电极丝顶弯并偏移一定距离(几微米到几十微米)时才发生正常的火花放电。
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