电子束蒸镀（Electron beam Evaporation of AuSn）
在电子束蒸镀工艺中，需要有一个真空的腔体。腔体底部放置坩埚，焊片助焊剂涂覆工艺，用于盛放蒸镀的靶材，靶材在电子束
的冲击下汽化。基板悬置于坩埚上方，汽化的金属沉积在基板上。蒸镀时汽化金属不能实现方向上的
控制，所以腔体上也会出现沉积。将不同的坩埚旋至电子束的下方，就可以在同一次沉积的过程中实现不
同金属层的沉积。蒸镀一个关键的优势在于沉积的速率。金典型的沉积速率为10 μm/sec。这使得蒸镀适合于大尺寸基板的
整面金属化处理。在沉积的过程中通常基板会旋转，以保证沉积层厚度的一致性，通常可以使公差控制在
1%。对于金锡焊料的蒸镀而言，通常采用的方法是交替蒸镀金层与锡层，使得整体的组分接Au80Sn20。在完成沉积后，将金属层加热至200°到250°C以实现金锡的相互扩散。扩散过程会使焊料微观上变得一致且
致密，有利于共晶焊工艺过程中焊料熔融的一致性
恒温轧机
钎焊料轧机，焊片助焊剂涂覆机，锡金焊料轧机，锡银铜焊料轧机
型号：JH-RZ-260
名称：预成型焊片陶瓷辊热扎机
用途：主要适用于预成型焊片的扎制加工及锂离子电池电芯的热压定型
特点：该机采用陶瓷材料做轧辊 ，助焊剂，油缸加斜块控制厚度。轧制带材平整光滑，解决了普通辊的粘辊问题。
适用范围：预成型焊片，锂离子电池电芯
适应材料宽度：20 mm ～80 mm
轧制来料厚度：≤6mm
轧制厚度：0.05mm
厚度控制：大量程千分表
轧制温度：≤300℃
免助焊剂：通常采用预成型焊片工艺是在保护气氛中进行，在此条件下，焊片助焊剂涂覆机器，可以免除助焊剂的使用，从而也免除了清洗过程，这在许多应用领域是非常的有用，因为在比较多的应用情形下，焊接的器件为了防止污染是不允许使用助焊剂，或者是焊接后，形成了一个密封的封装结构，无法对其进行清洗。同时，免除了这些工序也节约了成本，减少了环境污染。
预成型焊片陶瓷辊热扎机 ，主要用于预成型焊片的热轧或热压，露辊采用陶瓷制作，硬度高，不粘辊，解决了行业内多年困扰的粘辊问题，是预成型焊片生产过程中的理想设备。
名称：预成型焊片陶瓷辊精密热扎机
用途：主要适用于预成型焊片的扎制加工及锂离子电池电芯的热压定型
特点：该机采用陶瓷材料做轧辊 ，油缸加斜块控制厚度。轧制带材平整光滑，解决了普通辊的粘辊问题。
适用范围：预成型焊片，锂离子电池电芯
适应材料宽度：20 mm ～80 mm
轧制来料厚度：≤6mm
轧制厚度：0.07mm
厚度控制：大量程千分表
轧制温度：≤300℃
轧制压力：≤6T
机列线速度：≤5mm/min
装机容量：24KW
外形尺寸：1000mmX1200mmX1500mm
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