本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
真空泵在工作1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，真空泵维修多少钱，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，SC30D真空泵维修，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，SV100B真空泵维修，妥善保管。
真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件，真空泵维修， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
ES 单级旋转式叶片泵
Edwards ES 系列泵代表了 单极油封旋转式叶片泵的重大进步。
增强的 性能：
同类的极限真空级别和更宽的工作压力范围
稳定性：
稳定的真空性能，无压力波动
便捷性：
组合式 ISO/BSP 连接，易于在现场维修
灵活性：
可单独使用，也可与机械增压泵一同使用，适用于各种应用
真空泵维修-东欧真空设备有限公司-SV100B真空泵维修由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司在真空泵这一领域倾注了诸多的热忱和热情，东欧真空一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创**。相关业务欢迎垂询，联系人：饶钦辉。
